真空燒結爐是半導體專用設備系列中的一種新型工藝設備，可進行真空燒結、氣體保護燒結和常規燒結。它具有設計新穎、操作方便、結構緊湊等優點。它可以在一臺設備上完成多個工藝流程。在真空燒結爐使用中遇到以下三種情況可以采取的應急措施。
一、停電
1、停電時，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續運轉如需要較長時間，則將設備保持原狀。
3、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。
二、加熱電源掉電
1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。
2、接地故障。
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。
4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。
三、充氣氣體停止
1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。
3、向真空室內充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。
4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。
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