真空熱處理爐的熱效率高，可實現(xiàn)快速升溫和降溫，可實現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達(dá)到表面光亮凈化的效果。一般來說，被處理的工件在爐內(nèi)加熱緩慢，內(nèi)熱溫差較小，熱應(yīng)力小，因而變形小。產(chǎn)品合格率高。可降低成本，有除氣作用，從而提高了工作的機(jī)械性能和使用壽命。工作環(huán)境好，操作安全，無污染和公害。被處理的工件沒有氫脆危險，對鈦材和難熔金屬殼防止表面氫脆，真空熱處理工藝的穩(wěn)定性和重復(fù)性好。這一系列的優(yōu)點，使得開發(fā)真空熱處理爐和工藝被越來越重視和應(yīng)用越來越廣。

　　真空熱處理爐的真空系統(tǒng)選擇：

　　常用的真空配置有四種，一種是低真空配置，配置為機(jī)械泵（旋片泵或滑閥泵），極限真空度可達(dá)10 Pa左右；第二種是中真空配置，配置羅茨泵和機(jī)械泵（旋片泵或滑閥泵）組合，極限真空度能達(dá)到2C10-1 Pa；第三種是高真空配置，一般配置為擴(kuò)散泵+羅茨泵+機(jī)械泵（旋片泵或滑閥泵），極限真空度可達(dá)到2R10-3 Pa；第四種是渦輪分子泵+羅茨泵+機(jī)械泵（旋片泵或滑閥泵），極限真空度可達(dá)2F10-4 Pa。真空系統(tǒng)的選擇主要依據(jù)工作真空度而確定。