真空燒結(jié)爐是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中的一種新型工藝設(shè)備，設(shè)計(jì)新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊。它可以在一臺(tái)設(shè)備上完成多個(gè)工藝流程。安裝現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)符合真空衛(wèi)生要求，周圍空氣清潔干燥，通風(fēng)良好，工地不易揚(yáng)塵等。   安裝真空燒結(jié)爐的場(chǎng)所應(yīng)符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應(yīng)清潔和干燥，并有良好的通風(fēng)條件，工作場(chǎng)地不易揚(yáng)起灰塵等。

　　1、檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。

　　2、控制柜安裝在相應(yīng)的地基上，并固定。

　　3、安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無(wú)誤。

　　4、檢查電器可動(dòng)部分應(yīng)活動(dòng)自如，無(wú)卡死現(xiàn)象。

　　5、絕緣電阻應(yīng)不低于2兆歐姆。

　　6、真空電爐各閥門必須在關(guān)閉位置。

　　7、控制電源開關(guān)放在關(guān)位。

　　8、手動(dòng)調(diào)壓旋鈕逆時(shí)針旋動(dòng)頭。

　　9、報(bào)警鈕放在開位。

　　10、按平面圖完成設(shè)備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議在設(shè)備總進(jìn)出水管處再接入一備用水(可用自來(lái)水)，防止循環(huán)水有故障或斷電導(dǎo)致密封圈燒壞。

　　11、安裝完畢后，抽低真空，等水路接通后可試燒一爐，加熱手動(dòng)/自動(dòng)升溫，溫度不低于1600℃，加熱時(shí)間不少于4小時(shí)，預(yù)燒結(jié)束后在降溫階段可對(duì)擴(kuò)散泵加熱，擴(kuò)散泵加熱時(shí)間不能小于45分鐘，然后關(guān)閉上部的小蝶閥，啟動(dòng)大擋板閥(或大蝶閥)，觀察真空計(jì)的數(shù)值變化，此時(shí)真空度應(yīng)很快小于0.1Pa。